全國具有壓力容器分析設計資質的設計院，全國具有儲氣罐分析設計資質的設計院

全國具有壓力容器分析設計資質的設計院，全國具有儲氣罐分析設計資質的設計院及《電子工業潔凈廠房設計規范》GB?50472的規定。
9.5.4 生產廠房應設置氣體泄漏報警裝置，并應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016及《特種氣體系統工程技術規范》GB?50646的規定。
9.5.5 生產廠房應設化學品液體泄漏報警裝置，并應符合現行國家標準《電子工廠化學品系統工程技術規范》GB 50781的規定。
9.5.6 生產廠房應設置廣播系統，潔凈區內應采用潔凈室型揚聲器。當廣播系統兼事故應急廣播系統時，應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的有關規定。
9.5.7 芯片工廠內應設置閉路電視監控系統，全國具有壓力容器分析設計資質的設計院，全國具有儲氣罐分析設計資質的設計院監控攝像機宜采用彩色攝像機，閉路電視監控系統監控圖像存儲時間不應少于15d。

9.5.8 芯片工廠內宜設置門禁系統，所有進入潔凈區的通道均應設置通道控制，潔凈區內門禁讀卡器宜采用非接觸型。

9.5.1 一個完整的硅集成電路芯片工廠通常組織嚴密、內部分工細致，各工段相互聯系緊密，對外需隨時保持聯系，因而通常需在廠內靠近辦公區設一電話站，裝設程控數字電話交換機，生產廠房潔凈區電話由程控交換機引來。潔凈區內通常采用綜合布線系統，設置電話插座（單孔）和電話/數據插座（兩孔或三孔）兩種信息插座。
9.5.2 硅集成電路芯片廠房設置火災自動報警系統主要目的為保障貴重工藝設備以及及早發現火災隱患，全國具有壓力容器分析設計資質的設計院，全國具有儲氣罐分析設計資質的設計院同時根據潔凈廠房的特點，一旦火災發生，人員進入較困難，因而火災自動報警系統必須設置。設置火災自動報警系統的區域根據生產工藝布置和公用動力系統的裝設情況，包括潔凈生產區、技術夾層、機房、站房等均應設火災探測器，全面保護。
    硅集成電路芯片廠房內設備、儀器較為昂貴且廠房建造費用較高，一旦著火，損失巨大。同時潔凈廠房內人員進出迂回曲折，人員疏散困難，不易發現火情，消防人員難以接近，防火有一定的困難。為達到室內凈化級別，全國具有壓力容器分析設計資質的設計院，全國具有儲氣罐分析設計資質的設計院潔凈室內對氣流、空間大小、換氣率都有較高的要求?；馂陌l生后，若一旦關閉凈化空調系統，即使再恢復也會影響潔凈度，使其達不到工藝生產要求而造成損失，而且中斷生產和煙霧對設備的影響所造成的損失很難彌補。潔凈室內一般空間較大、氣流速度高（換氣次數40次/h～120次/h），普通的感煙探測器對煙霧探測有很大的困難。所以，全國具有壓力容器分析設計資質的設計院，全國具有儲氣罐分析設計資質的設計院潔凈