國內做石化裝備規模比較大的廠家，國內做石化裝備規模比較大的企業，國內做石化裝備規模比較大的公司

國內做石化裝備規模比較大的廠家，國內做石化裝備規模比較大的企業，國內做石化裝備規模比較大的公司潔凈區的送風方式有集中送風、風機過濾器機組(FFU)形式。目前，大規模集成電路廠房，潔凈區面積大、潔凈度等級高、送風量很大，通常采用FFU送風方式。對于規模較小的實驗室，由于面積小，潔凈度等級較低，送風量較小，可采用集中送風方式或FFU送風方式。FFU送風方式，國內做石化裝備規模比較大的廠家，國內做石化裝備規模比較大的企業，國內做石化裝備規模比較大的公司由于空氣循環路徑短，氣流速度低，阻力損失小，風機送風壓頭低，單位送風量電耗較集中送風方式低。對于潔凈度等級高的潔凈室，推薦采用風機過濾器機組（FFU）送風。
10.1.9 硅集成電路芯片廠房潔凈室規模較大，新風量很大，通常采用多臺新風機組集中處理新風，集中處理新風具有以下優點：
    1 新風集中處理可以去除新風中絕大部分的灰塵，有效延長了末級高效空氣過濾器(HEPA)、國內做石化裝備規模比較大的廠家，國內做石化裝備規模比較大的企業，國內做石化裝備規模比較大的公司超高效空氣過濾器(ULPA)的使用；

    2 新風集中處理有利于去除新風中的水溶性化學污染物，降低了末級化學過濾器的負荷；
    3 新風集中處理有利于潔凈室濕度控制，避免冷熱抵消，節約能耗；
    4 通常芯片廠房新風機組有多臺，并設置備用機組，宜并聯運行。由于工藝設備分期安裝，國內做石化裝備規模比較大的廠家，國內做石化裝備規模比較大的企業，國內做石化裝備規模比較大的公司且生產技術發展升級速度迅速，設備更新升級快，工藝設備排風量會隨運行設備數量和運行負荷率的變化而變化，新風量也是變化的，因此建議新風系統送風機采用變頻措施，以適應新風需求量的變化。
10.1.11 干盤管是采用中溫冷凍水作為冷媒的空氣換熱設備，國內做石化裝備規模比較大的廠家，國內做石化裝備規模比較大的企業，國內做石化裝備規模比較大的公司安裝潔凈室回風通路上，消除潔凈室內余熱，因其表面溫度高于潔凈室內空氣露點溫度，不會產生冷凝水。干盤管應用于潔凈室，一般迎風面速度控制在2m/s以下，以降低盤管空氣阻力。干盤管正常運行時，不會產生冷凝水，不需要設置集水盤，但考慮到設備和管道檢修，國內做石化裝備規模比較大的廠家，國內做石化裝備規模比較大的企業，國內做石化裝備規模比較大的公司建議設置檢修排水設施。