沼氣回收設備廠家抗震設防區的硅集成電路芯片工廠建筑物應按現行國家標準《建筑工程抗震設防分類標準》GB 50223的規定確定抗震設防類別及抗震設防標準。
5.2.2 生產廠房的主體結構宜采用鋼筋混凝土結構、鋼結構或鋼筋混凝土結構和鋼結構的組合，并應具有防微振、防火、密閉、防水、控制溫度變形和不均勻沉降性能。
5.2.3 生產廠房宜采用大柱網大空間結構形式，沼氣回收設備廠家柱網尺寸宜為600mm的模數。
5.2.4 生產廠房變形縫不宜穿越潔凈生產區。

5.2.1 本條與現行國家標準《建筑抗震設計規范》GB 50011的要求是一致的。沼氣回收設備廠家設計時應考慮各建筑物的用途、是否屬于易燃易爆廠房等因素。對于芯片生產廠房，則應根據廠房的投資額、建筑面積和職工人數等確定抗震設防類別。本條為強制性條文，必須嚴格執行。
5.2.3 由于常用的FFU，風口及高架地板的尺寸均為600mm的模數，沼氣回收設備廠家為便于凈化工程的安裝與施工，有利于降低建造成本，廠房柱網宜采用600mm的模數。
沼氣回收設備廠家本條主要考慮避免廠房變形縫對潔凈生產區的氣密性造成的影響。