天然氣提純設備廠家區的人流、物流出入口應分開設置。
4.2.4 工廠的動力設施宜集中布置并靠近工廠的負荷中心。
4.2.5 廠區內車輛停放場地應滿足當地規劃要求。
4.2.6 動力設施主要噪聲源宜集中布置，天然氣提純設備廠家并應確保場區邊界的噪聲強度分別符合現行國家標準《工業企業噪聲控制設計規范》GBJ 87及《工業企業廠界環境噪聲排放標準》GB 12348的限值規定。
4.2.7 廠區內應設置消防車道。
4.2.8 工廠廠區內宜規劃設備臨時存儲場。
4.2.9 廠區道路面層應選用整體性能好、天然氣提純設備廠家發塵少的材料。

4.2.1 硅集成電路芯片工廠的廠區中生產區占地較大，天然氣提純設備廠家同時也是人流和物流的集中區域，因此在廠區總體規劃中，要將生產區作為核心進行布置。
4.2.5 我國機動車擁有量逐年增多，設計時對機動車車位宜有前瞻性安排；同時按照綠色工業建筑評價標準，員工出行優先利用公共交通，非機動車的停放場地應滿足15％以上員工的需要。
4.2.6 芯片廠房中的柴油發電機、空壓機、天然氣提純設備廠家大容量水泵等動力設備運行中噪聲較大，宜遠離生產及行政區域，并與廠界保持適當距離，以避免對正常生產及周邊的區域環境造成影響。
4.2.8 工廠從試生產到滿負荷生產時間較長，工藝設備通常分批購置及到貨。而設備在凈化區的搬運及安裝耗時較多，因此在生產廠房附近宜有面積較大的臨時存儲場地，天然氣提純設備廠家用于到貨的生產設備臨時堆放。